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業(yè)務詳情

全自動減薄機GR-1250
全自動減薄機GR-1250

全自動減薄機GR-1250

產品分類:

關鍵詞:

源頭廠家,自主研發(fā),支持定制,一年質保,終身售后

1250.jpg
  • 產品描述
  • 概述
    設備采用In-feed 磨削原理而設計,采用粗磨精磨軌跡重合技術,提高設備磨削加工精度。磨削過程采用自適應控制技術,控制磨削應力,提高晶片質量。

    性能指標

    圓晶直徑

    Max.Φ300mm

    磨削方式

    In-feed grinding with wafer rotation

    通過旋轉晶圓,實現縱向切入式磨削

    主軸

    主軸數量

    2

    輸出功率

    7.5KW

    轉速

    1000-4000rpm

    Z軸

    行程

    120mm(有初始化位置)

    進給速度

    0.00001~0.08mm/s

    最大返回速度

    50mm/s

    分辨率

    0.1pm

    承片臺數量

    3

    工作臺轉速

    0-300rpm

    減薄精度

    片內厚度偏差

    <3μm

    片間厚度偏差

    <±3μm

    表面粗糙度Ra

    根據使用的砂輪目數決定

    測量儀

    測量范圍

    0-1800μm (選配)

    分辨率

    0.1μm (選配)

    重復精度

    ±0.5μm (選配)

    其他規(guī)格

    外形尺寸(WxDxH)

    1200mmx1800mmx1910mm

    設備重量

    ≈3300 kg


    產品特色

    ●采用In-feed 磨削原理而設計;
    ●磨削過程采用自適應控制技術,控制磨削應力,提高晶片質量;
    ●設備配有3個可定制尺寸和類型的多孔陶瓷臺,承片臺軸采用精密機械軸承;
    ●雙軸三承片臺結構,粗磨精磨磨削同時進行,加工效率大幅度提高;
    ●采用粗磨精磨軌跡重合技術,提高設備磨削加工精度。

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